Abstrakti
X-ray diffraction curves are measured at a number of azimuth angles to determine the period of an InxGa1-xAs/InP superlattice grown on a misoriented InP substrate. It is shown that a substrate misorientation of 2.2° can cause an error as large as 7% to the calculated value of the superlattice period if the measurement is made at an arbitrary azimuth angle.
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Sivut | 569-572 |
Sivumäärä | 4 |
Julkaisu | Journal of Crystal Growth |
Vuosikerta | 114 |
Numero | 4 |
DOI - pysyväislinkit | |
Tila | Julkaistu - 1 jouluk. 1991 |
OKM-julkaisutyyppi | A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä |