Wireless MEMS sensor and method of reading the same

Heikki Seppae (Keksijä), Ville Viikari (Keksijä), Heikki Seppä (Keksijä)

Tutkimustuotos: PatenttiPatent

Abstrakti

This document describes a wireless sensor comprising a MEMS resonator and an antenna directly matched thereto. Also a method of reading the wireless sensor is described. The method comprises illuminating the wireless sensor with electromagnetic energy at a first and second frequencies and receiving an intermodulation signal emitted by the wireless sensor in response to said electromagnetic energy at the first and second frequencies.

AlkuperäiskieliEnglanti
PatenttinumeroUS2012176609
IPCH01L 29/ 84 A I
Prioriteetti päiväys10/09/2010
TilaJulkaistu - 12 heinäkuuta 2012
OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetyt patentit

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Wireless MEMS sensor and method of reading the same'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Siteeraa tätä