Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Sivut | 223-226 |
Julkaisu | Physica Scripta |
Numero | T114 |
Tila | Julkaistu - 2004 |
OKM-julkaisutyyppi | A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu |
Tutkimusalat
- adhesive bonding
- microchannel and cavity
- photoresist
- SU-8
S. Tuomikoski, S. Franssila
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Sivut | 223-226 |
Julkaisu | Physica Scripta |
Numero | T114 |
Tila | Julkaistu - 2004 |
OKM-julkaisutyyppi | A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu |