Vapor-phase self-assembled monolayers for improved MEMS reliability

Anna Rissanen*, Kirsi Tappura, Mari Laamanen, Riikka Puurunen, Elina Färm, Mikko Ritala, Markku Leskelä

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

6 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Vapor-phase self-assembled monolayers for improved MEMS reliability'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering & Materials Science