Siirry päänavigointiin Siirry hakuun Siirry pääsisältöön

Vapor deposition of LiF thin films

  • Miia Mäntymäki (Keksijä)
  • , Jani Hämäläinen (Keksijä)
  • , Mikko Ritala (Keksijä)
  • , Markku Leskelä (Keksijä)

Tutkimustuotos: PatenttiPatent

AlkuperäiskieliEnglanti
Patenttinumero9909211
TilaJulkaistu - 6 maalisk. 2018
OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetty patentti

Siteeraa tätä