Undercut edges for robust capillary self-alignment in hybrid microassembly

Ville Liimatainen, Veikko Sariola, Quan Zhou

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

4 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoThe 8th Annual IEEE Inteernational Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS2013), Suzhou, China, April 7-10, 2013
JulkaisupaikkaSuzhou, China
KustantajaIEEE
Sivut4
ISBN (elektroninen)978-1-4673-6352-5
TilaJulkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Tutkimusalat

  • microassembly
  • microfabrication
  • self-alignment
  • surface tension
  • wetting

Siteeraa tätä