Tribological properties of thin films made by atomic layer deposition sliding against silicon

Lauri Kilpi, Oili M.E. Ylivaara, Antti Vaajoki, Xuwen Liu, Ville Rontu, Sakari Sintonen, Eero Haimi, Jari Malm, Markus Bosund, Marko Tuominen, Timo Sajavaara, Harri Lipsanen, Simo Pekka Hannula, Riikka L. Puurunen, Helena Ronkainen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

8 Sitaatiot (Scopus)
529 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Tribological properties of thin films made by atomic layer deposition sliding against silicon'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science