Topographic Analysis of the Crystal Quality of Globally Available SiC Wafers

aapo Lankinen, I. Brazil, P.J. McNally, N. Ren, Lisa O´Reilly, A. Danilewsky, Turkka Tuomi, Antti Säynätjoki, R. Simon, S. Soloviev, L.B. Rowland, P.M. Sandvik

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiThe 6th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials ECSCRM 2006, 3-7.9.2006, Newcastle-upon-Tyne, UK

    Siteeraa tätä