Through-Silicon Stroboscopic Characterization of an Oscillating MEMS Thermal Actuator Using Supercontinuum Interferometry

Kalle Hanhijarvi, Ivan Kassamakov, Juha Aaltonen, Ville Heikkinen, Lauri Sainiemi, Sami Franssila, Edward Haeggstrom

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

4 Sitaatiot (Scopus)

Hakutulokset