Through-Silicon Stroboscopic Characterization of an Oscillating MEMS Thermal Actuator Using Supercontinuum Interferometry

Kalle Hanhijarvi, Ivan Kassamakov, Juha Aaltonen, Ville Heikkinen, Lauri Sainiemi, Sami Franssila, Edward Haeggstrom

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

4 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut1418-1420
JulkaisuIEEE-ASME TRANSACTIONS ON MECHATRONICS
Vuosikerta18
Numero4
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä