Thermomechanical properties of aluminum oxide thin films made by atomic layer deposition

Oili M.E. Ylivaara*, Andreas Langner, Satu Ek, Jari Malm, Jaakko Julin, Mikko Laitinen, Saima Ali, Sakari Sintonen, Harri Lipsanen, Timo Sajavaara, Riikka L. Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

16 Lataukset (Pure)
  • 1 Päättynyt
Suodatin
Päättynyt

Hakutulokset

  • Päättynyt

    Mechald (Lipsanen)

    Ali, S., Lipsanen, H. & Sintonen, S.

    01/07/2011 → 30/06/2014

    Projekti: Business Finland: Other research funding