Thermomechanical properties of aluminum oxide thin films made by atomic layer deposition

Oili M.E. Ylivaara*, Andreas Langner, Satu Ek, Jari Malm, Jaakko Julin, Mikko Laitinen, Saima Ali, Sakari Sintonen, Harri Lipsanen, Timo Sajavaara, Riikka L. Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

4 Sitaatiot (Scopus)
117 Lataukset (Pure)

Hakutulokset

  • Päättynyt

    Mechald (Lipsanen)

    Ali, S. (Projektin jäsen), Lipsanen, H. (Vastuullinen tutkija) & Sintonen, S. (Projektin jäsen)

    01/07/201130/06/2014

    Projekti: Business Finland: Other research funding