Thermomechanical properties of aluminum oxide thin films made by atomic layer deposition

Oili M.E. Ylivaara*, Andreas Langner, Satu Ek, Jari Malm, Jaakko Julin, Mikko Laitinen, Saima Ali, Sakari Sintonen, Harri Lipsanen, Timo Sajavaara, Riikka L. Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

4 Sitaatiot (Scopus)
115 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Thermomechanical properties of aluminum oxide thin films made by atomic layer deposition'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science

Physics

Engineering