The thermal stability of iron precipitation in silicon after internal gettering

Peng Zhang, Hele Väinölä, Andrei Istratov, Eicke R. Weber

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut1051-1055
JulkaisuPhysica B: Condensed Matter
Vuosikerta340-342
TilaJulkaistu - 2003
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

  • internal gettering
  • iron
  • re-dissolution energy barrier
  • silicon

Siteeraa tätä