The influence of gas-surface interaction on gas-film damping in a silicon accelerometer

T. Veijola, H. Kuisma, J. Lahdenperä

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    105 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut83-92
    JulkaisuSensors and Actuators A
    VuosikertaA66
    TilaJulkaistu - 1998
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • accelerometer model
    • accommodation coefficient
    • gas-film damping model
    • squeeze-film damping

    Siteeraa tätä