The effect of growth parameters on the deposition of CaS thin films by atomic layer epitaxy

J. Rautanen, M. Leskelä, L. Niinistö, E. Nykänen, P. Soininen, M. Utriainen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    27 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut553-558
    JulkaisuApplied Surface Science
    Vuosikerta82/83
    TilaJulkaistu - 1994
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • atomic layer epitaxy
    • CaS
    • growth parameters
    • Thin films

    Siteeraa tätä