The Effect of Atomic-Layer-Deposited AlN on Near Surface InGaAs/GaAs Structures

Päivi Mattila, Markus Bosund, Henri Jussila, O Gordyushenkov, Turkka Tuomi, Teppo Huhtio, Harri Lipsanen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

1 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut1560-1562
JulkaisuPHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS
Vuosikerta9
Numero7
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - heinäkuuta 2012
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä