Textured Strontium Titanate Layers on Platinum by Atomic Layer Deposition

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • T. Blomberg
  • J. Anttila
  • S. Haukka
  • M. Tuominen
  • M. Lukosius
  • Ch. Wenger
  • T. Saukkonen

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut65356540
JulkaisuThin Solid Films
Vuosikerta520
Numero21
TilaJulkaistu - 2012
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • atomic layer deposition, electron backscatter diffraction, strontium titanate, thin film texture, transmission electron microscopy

ID: 950307