Textured Strontium Titanate Layers on Platinum by Atomic Layer Deposition

T. Blomberg, J. Anttila, Suvi Haukka, Marko Tuominen, M. Lukosius, Ch. Wenger, T. Saukkonen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    8 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut65356540
    JulkaisuThin Solid Films
    Vuosikerta520
    Numero21
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2012
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • atomic layer deposition
    • electron backscatter diffraction
    • strontium titanate
    • thin film texture
    • transmission electron microscopy

    Siteeraa tätä