Synthesis of oxide thin films and overlayers by atomic layer epitaxy for advanced applicaltions

L. Niinistö, M. Ritala, M. Leskelä

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    152 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut23-29
    JulkaisuMaterials Science and Engineering B
    VuosikertaB41
    TilaJulkaistu - 1996
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • ale
    • atomic layer epitaxy
    • organometallics
    • oxide
    • synthesis
    • thin film

    Siteeraa tätä