Synchrotron Topographic Study of Czochralski-grown Silicon Wafers for Advanced Memory Circuits

M. Tuominen, T. Tuomi, E. Prieur, J. Partanen, J. Lahtinen, J. Laakkonen

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaGermany
    Sivut551-552
    TilaJulkaistu - 1994
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiHasylab Jahresbericht 1993
    KustantajaHasylab

    Tutkimusalat

    • synchrotron x-ray topography, silicon

    Siteeraa tätä