Surface-Tension-Driven Self-Alignment of Microchips on Black-Silicon-Based Hybrid Template in Ambient Air

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut739-746
Sivumäärä8
JulkaisuJournal of Microelectromechanical Systems
Vuosikerta22
Numero3
TilaJulkaistu - 21 helmikuuta 2013
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • Black silicon , fluoropolymer , hybrid template , self-alignment , self-assembly , solid edge , wetting contrast

ID: 859318