Surface passivation of Germanium with ALD Al2O3: Impact of Composition and Crystallinity of GeOx Interlayer

Joonas Isometsä*, Zahra Jahanshah Rad, John Fung, Hanchen Liu, Juha Pekka Lehtiö, Toni Pasanen, Oskari Leiviskä, Mikko Miettinen, P. Laukkanen, K. Kokko, Hele Savin, Ville Vähänissi

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)
64 Lataukset (Pure)
Suodatin
Päättynyt

Hakutulokset