Surface-controlled deposition of Sc_(2)O_(3) thin films by atomic layer epitaxy using beta-diketonate and organometallic precursors

Matti Putkonen, Minna Nieminen, Jaakko Niinistö, Timo Sajavaara, Lauri Niinistö

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut4701-4707
    JulkaisuChemistry of Materials
    Vuosikerta13
    Numero12
    TilaJulkaistu - 2001
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • ALD
    • ALE
    • atomic layer deposition
    • atomic layer epitaxy
    • Sc_(2)O_(3)
    • thin films

    Siteeraa tätä