Substrate-patterning techniques for nitride growth

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisuSPIE, Newsroom
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiB1 Artikkeli tiedelehdessä

ID: 807927