Termisesti ja plasma-avusteisesti atomikerroskasvatettujen AlN ja Al2O3/TiO2 ohutkalvojen tutkimus moninaisiin sovelluksiin

Perttu Sippola

Tutkimustuotos: Doctoral ThesisCollection of Articles

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Termisesti ja plasma-avusteisesti atomikerroskasvatettujen AlN ja Al2O3/TiO2 ohutkalvojen tutkimus moninaisiin sovelluksiin'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Physics & Astronomy