Strontium Titanate Thin Films via Atomic Layer Deposition Using Strontium Tetramethylheptanedione and Titanium Isopropoxide as Precursors

A. Kosola, M. Putkonen, L. Niinistö

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoCERC3 Young Chemists Workshop, Chemical Preparation of Thin Films, Heterogeneous Catalysts and Related Surface Structures, Tuusula, May 20-23,1999
    ToimittajatM. Ritala
    JulkaisupaikkaHelsinki
    Sivut25
    TilaJulkaistu - 1999
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • atomic layer deposition
    • strontium titanate
    • thin film

    Siteeraa tätä