Stroboscopic White Light Interferometry for Dynamic Characterization of Capacitive Pressure Sensors

I. Kassamakov, K. Hanhijärvi, Juha Aaltonen, L. Sainiemi, K. Grigoras, S. Franssila, E. Häggström

Tutkimustuotos: Työpaperi › Working paper › Professional

1 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2008
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Nimi	Proceedings of Acuostics 2008, Paris

Siteeraa tätä

@techreport{47d6a99e40154f4380ccbc83c7af0290,

title = "Stroboscopic White Light Interferometry for Dynamic Characterization of Capacitive Pressure Sensors",

author = "I. Kassamakov and K. Hanhij{\"a}rvi and Juha Aaltonen and L. Sainiemi and K. Grigoras and S. Franssila and E. H{\"a}ggstr{\"o}m",

year = "2008",

language = "English",

series = "Proceedings of Acuostics 2008, Paris",

type = "WorkingPaper",

}

TY - UNPB

T1 - Stroboscopic White Light Interferometry for Dynamic Characterization of Capacitive Pressure Sensors

AU - Kassamakov, I.

AU - Hanhijärvi, K.

AU - Aaltonen, Juha

AU - Sainiemi, L.

AU - Grigoras, K.

AU - Franssila, S.

AU - Häggström, E.

PY - 2008

Y1 - 2008

M3 - Working paper

T3 - Proceedings of Acuostics 2008, Paris

BT - Stroboscopic White Light Interferometry for Dynamic Characterization of Capacitive Pressure Sensors

ER -