Stress behaviour of reactively sputtered nitrogenated carbon films

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

Tutkijat

  • J. Gilvarry
  • A. Chowdhury
  • M. Monclus
  • D.C. Cameron
  • P.J. McNally
  • T. Tuomi

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut979-984
JulkaisuSurface and Coatings Technology
Vuosikerta98
TilaJulkaistu - 1998
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • carbon films, stress behaviour

ID: 4922543