Stability and residual stresses of sputtered wurtzite AlScN thin films

Elmeri Österlund*, Glenn Ross, Miguel A. Caro, Mervi Paulasto-Kröckel, Andreas Hollmann, Manuela Klaus, Matthias Meixner, Christoph Genzel, Panu Koppinen, Tuomas Pensala, Agnė Žukauskaitė, Michal Trebala

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

29 Sitaatiot (Scopus)
207 Lataukset (Pure)
Suodatin
Päättynyt

Hakutulokset