Smoothing of microfabricated silicon features by thermal annealing in reducing or inert atmospheres

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • Kai Kolari
  • Tapani Vehmas
  • Olli Svensk
  • Pekka Törmä
  • Timo Aalto

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut014017
JulkaisuPhysica Scripta
Vuosikerta2010
NumeroT141
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

ID: 827177