Smoothing of microfabricated silicon features by thermal annealing in reducing or inert atmospheres

Kai Kolari, Tapani Vehmas, Olli Svensk, Pekka Törmä, Timo Aalto

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    4 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut014017
    JulkaisuPhysica Scripta
    Vuosikerta2010
    NumeroT141
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2010
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä