Simulation of Conformality of ALD Growth Inside Lateral Channels: Comparison Between a Diffusion-Reaction Model and a Ballistic Model

Jorge A. Velasco, Jänis Järvilehto*, Jihong Yim, Christine Gonsalves, Emma Verkama, Riikka L. Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaPosterScientificvertaisarvioitu

Hakutulokset