Simulation of Conformality of ALD Growth Inside Lateral Channels: Comparison Between a Diffusion-Reaction Model and a Ballistic Model

^*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Poster › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2022
OKM-julkaisutyyppi	Ei sovellu
Tapahtuma	International Conference on Atomic Layer Deposition - International Convention Center (ICC), Ghent, Belgia Kesto: 26 kesäk. 2022 → 29 kesäk. 2022 Konferenssinumero: 22

Conference	International Conference on Atomic Layer Deposition
Lyhennettä	ALD
Maa/Alue	Belgia
Kaupunki	Ghent
Ajanjakso	26/06/2022 → 29/06/2022

ALDI: Reactive flow in porous media: modelling and experiments in atomic layer deposition context
Puurunen, R. (Vastuullinen tutkija), Revitzer, H. (Projektin jäsen), Viinikainen, T. (Projektin jäsen), Gonsalves, C. (Projektin jäsen), Velasco Calsina, J. (Projektin jäsen), Yim, J. (Projektin jäsen), Miikkulainen, V. (Projektin jäsen), Ossama, M. (Projektin jäsen) & Larkiala, S. (Projektin jäsen)
01/09/2020 → 31/08/2024
Projekti: Academy of Finland: Other research funding

Siteeraa tätä

@conference{25d1b9f4510b4bd2b3bea518cf481f42,

title = "Simulation of Conformality of ALD Growth Inside Lateral Channels: Comparison Between a Diffusion-Reaction Model and a Ballistic Model",

author = "Velasco, {Jorge A.} and J{\"a}nis J{\"a}rvilehto and Jihong Yim and Christine Gonsalves and Emma Verkama and Puurunen, {Riikka L.}",

year = "2022",

language = "English",

note = "International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD ; Conference date: 26-06-2022 Through 29-06-2022",

}

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Poster › Scientific › vertaisarvioitu

TY - CONF

T1 - Simulation of Conformality of ALD Growth Inside Lateral Channels: Comparison Between a Diffusion-Reaction Model and a Ballistic Model

AU - Velasco, Jorge A.

AU - Järvilehto, Jänis

AU - Yim, Jihong

AU - Gonsalves, Christine

AU - Verkama, Emma

AU - Puurunen, Riikka L.

N1 - Conference code: 22

PY - 2022

Y1 - 2022

M3 - Poster

T2 - International Conference on Atomic Layer Deposition

Y2 - 26 June 2022 through 29 June 2022

ER -