Simulation Model for Micromechanical Angular Rate Sensor

T. Veijola; H. Kuisma; J. Lahdenperä; T. Ryhänen

Simulation Model for Micromechanical Angular Rate Sensor

T. Veijola, H. Kuisma, J. Lahdenperä, T. Ryhänen

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

14 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	113-121
Julkaisu	Sensors and Actuators A
Vuosikerta	A60
Tila	Julkaistu - 1997
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

angular rate sensors
circuit simulation
micromechanics

Siteeraa tätä

@article{8a8fef76c8cf4ab8bbe57db2fafc1e86,

title = "Simulation Model for Micromechanical Angular Rate Sensor",

keywords = "angular rate sensors, circuit simulation, micromechanics, angular rate sensors, circuit simulation, micromechanics, angular rate sensors, circuit simulation, micromechanics",

author = "T. Veijola and H. Kuisma and J. Lahdenper{\"a} and T. Ryh{\"a}nen",

year = "1997",

language = "English",

volume = "A60",

pages = "113--121",

journal = "Sensors and Actuators A: Physical",

issn = "0924-4247",

publisher = "Elsevier",

}

TY - JOUR

T1 - Simulation Model for Micromechanical Angular Rate Sensor

AU - Veijola, T.

AU - Kuisma, H.

AU - Lahdenperä, J.

AU - Ryhänen, T.

PY - 1997

Y1 - 1997

KW - angular rate sensors

KW - circuit simulation

KW - micromechanics

KW - angular rate sensors

KW - circuit simulation

KW - micromechanics

KW - angular rate sensors

KW - circuit simulation

KW - micromechanics

M3 - Article

VL - A60

SP - 113

EP - 121

JO - Sensors and Actuators A: Physical

JF - Sensors and Actuators A: Physical

SN - 0924-4247

ER -