Silicon Slot Waveguides Filled with Atomic Layer Deposition (ALD)

S. Honkanen, A. Tervonen, A. Säynätjoki, A. Khanna, T. Alasaarela

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoICO-Photonics, October 7-9, 2009, Delphi, Greece
    Sivut1
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • atomic layer deposition
    • Si-photonics
    • slot waveguides

    Siteeraa tätä