Silicon nanostructure fabrication by direct FIB writing and TMAH wet chemical etching

Päivi Sievilä, Nikolai Chekurov, Ilkka Tittonen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoNanotech&Expo, Anaheim, CA, USA 21-24 June
Sivut214-217
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Tutkimusalat

  • FIB implantation
  • nanofanrication
  • silicon
  • TMAH
  • wet chemical etching

Siteeraa tätä