Silicon-based surface micromachined interferometers for infrared wavelengths

Julkaisun otsikon käännös: Piipohjaiset pintamikromekaaniset interferometrit infrapuna-aallonpituuksille

Mikko Tuohiniemi

    Tutkimustuotos: Doctoral ThesisCollection of Articles

    Sormenjälki

    Sukella tutkimusaiheisiin 'Piipohjaiset pintamikromekaaniset interferometrit infrapuna-aallonpituuksille'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

    Engineering

    Physics

    Material Science