Section topographic study of wet-sand blasted Czochralski wafers

T. Tuomi, J. Partanen, J. Lahtinen, N. Henelius, J. Laakkonen, M. Tilli

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaEspoo
    TilaJulkaistu - 1992
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiOptoelectronics Laboratory, Helsinki University of Technology
    NumeroTKK-F-C139

    Tutkimusalat

    • silicon
    • synchrotron X-ray topography

    Siteeraa tätä