Scaling of piezoelectric in-plane NEMS : Towards nanoscale integration of AlN-based transducer on vertical sidewalls

Artem Gabrelian*, Ville Miikkulainen, Glenn Ross, Mervi Paulasto-Kröckel

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

1 Sitaatiot (Scopus)
33 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Scaling of piezoelectric in-plane NEMS : Towards nanoscale integration of AlN-based transducer on vertical sidewalls'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science

Engineering