Scaling of piezoelectric in-plane NEMS : Towards nanoscale integration of AlN-based transducer on vertical sidewalls

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

20 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Scaling of piezoelectric in-plane NEMS : Towards nanoscale integration of AlN-based transducer on vertical sidewalls'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science

Engineering