Saturation profile measurement of atomic layer deposited film by X-ray microanalysis on lateral high-aspect-ratio structure

Eero Haimi*, Oili Ylivaara, Jihong Yim, Riikka Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

36 Lataukset (Pure)

Hakutulokset