Saturation profile based conformality analysis for atomic layer deposition: aluminum oxide in lateral high-aspect-ratio channels

Hakutulokset

• Päättynyt

  ALDI: Reactive flow in porous media: modelling and experiments in atomic layer deposition context

  Puurunen, R. (Vastuullinen tutkija), Revitzer, H. (Projektin jäsen), Viinikainen, T. (Projektin jäsen), Gonsalves, C. (Projektin jäsen), Velasco Calsina, J. (Projektin jäsen), Yim, J. (Projektin jäsen), Miikkulainen, V. (Projektin jäsen), Ossama, M. (Projektin jäsen), Andsten, S. (Projektin jäsen) & Larkiala, S. (Projektin jäsen)

  01/09/2020 → 31/08/2024

  Projekti: Academy of Finland: Other research funding

  • Atomic Layer Epitaxy 100%
  • Atomic Layer Deposition 97%
  • Conformality 56%
  • High Aspect Ratio 35%
  • Procedure 27%

• Renable Carbon Cycle - Uusiutuva hiilikierto: Hiilidioksidin muuntaminen polttoaineiksi räätälöytyjen heterogeenisten katalyyttien avulla

  Puurunen, R. (Vastuullinen tutkija), Arandia Gutierrez, A. (Projektin jäsen), Viinikainen, T. (Projektin jäsen), Revitzer, H. (Projektin jäsen), Sajid, A. (Projektin jäsen), Chahal, A. (Projektin jäsen), Yim, J. (Projektin jäsen), Karinen, R. (Projektin jäsen), Haimi, E. (Projektin jäsen), Velasco Calsina, J. (Projektin jäsen), Kattelus, J. (Projektin jäsen), Gonsalves, C. (Projektin jäsen) & Kumar Singh, A. (Projektin jäsen)

  01/01/2020 → 31/12/2023

  Projekti: Academy of Finland: Other research funding

  • Atomic Layer Epitaxy 100%
  • Atomic Layer Deposition 95%
  • Conformality 63%
  • High Aspect Ratio 51%
  • Saturation 42%