Saturation profile based conformality analysis for atomic layer deposition: aluminum oxide in lateral high-aspect-ratio channels

Jihong Yim, Oili M.E. Ylivaara, Markku Ylilammi, Virpi Korpelainen, Eero Haimi, Emma Verkama, Mikko Utriainen, Riikka L. Puurunen^*

^*Tämän työn vastaava kirjoittaja

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd.

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

15 Sitaatiot (Scopus)

83 Lataukset (Pure)

2 tulosta

Aktiivinen
ALDI: Reactive flow in porous media: modelling and experiments in atomic layer deposition context
Puurunen, R., Revitzer, H., Viinikainen, T., Gonsalves, C., Velasco Calsina, J., Yim, J. & Miikkulainen, V.
01/09/2020 → 31/08/2024
Projekti: Academy of Finland: Other research funding
Renable Carbon Cycle - Uusiutuva hiilikierto: Hiilidioksidin muuntaminen polttoaineiksi räätälöytyjen heterogeenisten katalyyttien avulla
Puurunen, R., Arandia Gutierrez, A., Viinikainen, T., Revitzer, H., Sajid, A., Singh, A., Yim, J., Karinen, R., Shamshad, H. & Haimi, E.
01/01/2020 → 31/12/2023
Projekti: Academy of Finland: Other research funding