Sacrificial layer technique for releasing metallized multilayer SU-8 devices

Anand Tatikonda, Ville P. Jokinen, Hanno Evard, Sami Franssila*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

5 Sitaatiot (Scopus)
202 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Sacrificial layer technique for releasing metallized multilayer SU-8 devices'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Chemistry

Physics

Material Science