Sacrificial layer technique for releasing metallized multilayer SU-8 devices

Anand Tatikonda, Ville P. Jokinen, Hanno Evard, Sami Franssila*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)
124 Lataukset (Pure)

Hakutulokset