Sormenjälki Sukella tutkimusaiheisiin 'Reliability of tantalum based diffusion barriers between Cu and Si'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.
- Järjestys:
- Painoarvo
- Aakkosjärjestyksessä
Reliability of tantalum based diffusion barriers between Cu and Si
T. Laurila*, K. Zeng, A. Seppälä, J. Molarius, I. Suni, J. K. Kivilahti
*Tämän työn vastaava kirjoittaja
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference contribution › Scientific › vertaisarvioitu
2
Sitaatiot
(Scopus)