Reduction of threading dislocation density in AlGaN epilayers by a multistep technique

Teemu Lang, M. Odnoblyudov, V. Bougrov, Sami Suihkonen, Olli Svensk, Pekka Törmä, Harri Lipsanen

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiIC MOVPE XIII, Miyazaki, Japani, 2006

    Siteeraa tätä

    Lang, T., Odnoblyudov, M., Bougrov, V., Suihkonen, S., Svensk, O., Törmä, P., & Lipsanen, H. (2006). Reduction of threading dislocation density in AlGaN epilayers by a multistep technique. (IC MOVPE XIII, Miyazaki, Japani, 2006).