Reducing stiction in microelectromechanical systems by rough nanometer-scale films grown by atomic layer deposition

R. L. Puurunen*, A. Häärä, H. Saloniemi, J. Dekker, M. Kainlauri, H. Pohjonen, T. Suni, J. Kiihamäki, E. Santala, M. Leskelä, H. Kattelus

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

14 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Reducing stiction in microelectromechanical systems by rough nanometer-scale films grown by atomic layer deposition'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Material Science

Pharmacology, Toxicology and Pharmaceutical Science