Quantifying the Impact of Al Deposition Method on Underlying Al2O3/Si Interface Quality

Iris Mack^*, Kawa Rosta, Ulviyya Quliyeva, Jennifer Ott, Toni Pasanen, Ville Vähänissi, Zahra Jahanshah Rad, Juha Pekka Lehtiö, Pekka Laukkanen, Caterina Soldano, Hele Savin

^*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

2 Sitaatiot (Scopus)

44 Lataukset (Pure)

Aktiivinen
PREIN 2: Photonics Research and Innovation
Naukkarinen, O. (Vastuullinen tutkija)
01/09/2022 → 31/12/2026
Projekti: RCF Flagship
COLO: Elimination of contact losses in semiconductors through atomic-scale interface research and engineering
Savin, H. (Vastuullinen tutkija)
01/09/2021 → 31/08/2025
Projekti: RCF Academy Project
Päättynyt
NIR: Super-sensitive ?/X- and NIR-radiation detectors via defect-free nanostructures: Next Imaging Revolution?
Vähänissi, V. (Vastuullinen tutkija) & Savin, H. (Projektin jäsen)
01/09/2020 → 31/08/2024
Projekti: RCF Academy Project
SISUPROCO: Silicon Surface Processing Commercialization
Savin, H. (Vastuullinen tutkija)
01/06/2018 → 31/12/2019
Projekti: Business Finland: Other research funding

Projektit