Quantifying the Impact of Al Deposition Method on Underlying Al2O3/Si Interface Quality

Iris Mack*, Kawa Rosta, Ulviyya Quliyeva, Jennifer Ott, Toni Pasanen, Ville Vähänissi, Zahra Jahanshah Rad, Juha Pekka Lehtiö, Pekka Laukkanen, Caterina Soldano, Hele Savin

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

2 Sitaatiot (Scopus)
45 Lataukset (Pure)

Hakutulokset